成都奋羽电子科技有限公司成立于2020年,位于成都高新区,是一家专注于工业微波加热与微波等离子体核心技术及装备研发、生产与应用的高新技术企业。公司聚焦半导体制造关键环节(去胶、清洗、刻蚀)核心部件的国产化替代,形成了涵盖微波源、能量调控及等离子体发生的全链条自主设计能力,致力于为半导体、新型显示及先进材料加工领域提供高效、可控的微波能量解决方案。
公司具备完善的研发与产业化基础,已建成1000平方米生产厂房和配套研发条件,通过ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系及ISO45001职业健康安全管理体系认证,获评"科技型中小企业"和"高新技术企业"。依托四川大学、电子科技大学等高校科研力量,公司构建了产学研深度融合的技术体系,持续推动科研成果工程化转化与产业落地。
在核心技术与产品方面,公司掌握微波等离子体发生关键技术,拥有31项专利及11项软件著作权,产品覆盖远程微波等离子体(RPS)、批处理等离子体(BPS)、阵列式大面积等离子体(ALAMPS)及大气压射流等离子体系统等系列模块,已实现规模化应用。其中,自主研发的大气压射流等离子体设备获四川省首台(套)重大技术装备认定,并成功应用于京东方显示面板封装清洗工艺,助力国产化替代;远程微波等离子体源同样获四川省首台(套)认定,标志着公司在高端等离子体核心部件领域实现关键突破。同时,公司相关等离子体清洗装备成果入选CCTV-2《经济半小时》专题报道,行业影响力显著提升。公司还承担并参与多项关键技术研发任务,相关成果获得安徽省科技进步一等奖1项,体现了较强的技术创新与工程转化能力。
公司核心团队由国家级青年人才领衔,其中2人为国家级青年人才计划入选者,团队长期深耕大功率微波与等离子体领域,具备从基础研究、系统设计到工程应用的完整技术能力。公司以核心技术自主可控为基础,依托国产替代窗口期,正加速在半导体装备核心部件领域实现规模化推广,具备良好的发展潜力与产业化前景。
       奋羽电子团队凭借深耕工业微波技术和微波等离子控制技术的多年经验,与用户一道研究微波能、微波等离子与材料的反应机理,持续优化设备和工艺参数,不断为不同应用场景的客户开发高度工艺匹配的工业微波设备和微波等离子模块,努力成为不同行业客户专业、可靠的合作伙伴。
 
 
微波等离子源方案定制供应商