微波等离子技术
微波等离子体源是半导体制造的关键组件之一，相较于射频等离子体，其具有粒子活..

• 微波等离子技术

工业微波系统设计...
物料移动的多物理场计算

• Free-C技术
• 工业微波系统设计和定制化能力