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项目 |
固态源版本 |
磁控管版本 |
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长*宽*高 |
626mm*552mm*380mm |
605mm*595mm*632mm |
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输出功率 |
1.0kW×2 |
1.25kW×2 |
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输出频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
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频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
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微波泄露 |
≤2mW/cm2 |
≤2mW/cm2 |
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供电电压 |
AC220V±10% |
AC220V±10% |
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供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
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进/出水口 |
1/8宝塔接头 |
DN15 |
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冷却方式 |
水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/mi0) |
水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min) |
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控制接口 |
RS485通信协议 |
远程通讯功能 |
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工艺气体 |
Ar、O2、H2、CF4等 |
Ar、O2、H2、CF4等 |
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等离子处理面积 |
0.19m2 |
0.15m2 |
应用行业：半导体，光伏产业，汽车，医疗，其它工业，科研
适用产品：等离子清洗机，等离子去胶机，等离子刻蚀机，镀膜设备
处理材料：晶圆，ALD材料，LCD屏，无机材料，橡胶材料，玻璃材料，高分子材料，汽车零器件 
