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项目 |
固态源版本 |
磁控管版本 |
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长*宽*高 (辐射模块) |
490mm*390mm*128mm |
490mm*390mm*128mm |
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腔体体积 |
106L |
106L |
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输出功率 |
1.0kW |
1.25kW |
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输出频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
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频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
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微波泄露 |
≤2mW/cm2 |
≤2mW/cm2 |
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供电电压 |
AC380V±10% |
AC380V±10% |
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供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
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进/出水口 |
1/8宝塔接头 |
DN15 |
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冷却方式 |
电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 可选水冷/风冷 |
电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 可选水冷/风冷 |
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控制接口 |
RS485通信协议 |
具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议，9600,N,8,1 |
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工艺气体 |
Ar、O2、H2、CF4等 |
Ar、O2、H2、CF4等 |
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项目 |
固态源版本 |
磁控管版本 |
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长*宽*高 (辐射模块) |
490mm*390mm*128mm |
490mm*390mm*128mm |
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腔体体积 |
106L |
106L |
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输出功率 |
3kW |
3kW |
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输出频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
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频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
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微波泄露 |
≤2mW/cm2 |
≤2mW/cm2 |
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供电电压 |
AC380V±10% |
AC380V±10% |
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供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
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进/出水口 |
1/8宝塔接头 |
DN15 |
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冷却方式 |
电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 水冷 |
电源: 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） 辐射模块: 水冷 |
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控制接口 |
RS485通信协议 |
具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议，9600,N,8,1 |
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工艺气体 |
Ar、O2、H2、CF4等 |
Ar、O2、H2、CF4等 |
应用行业：半导体，光伏产业，汽车，医疗，其它工业，科研
适用产品：等离子清洗机，等离子去胶机，等离子刻蚀机，镀膜设备
处理材料：晶圆，ALD材料，LCD屏，无机材料，橡胶材料，玻璃材料，高分子材料，汽车零器件 
