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项目 |
固态源版本 |
磁控管版本 |
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长*宽*高 |
803mm*653mm*561mm |
803mm*653mm*561mm |
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微波功率 |
1kW |
1.25kW |
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微波频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
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频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
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微波泄露 |
≤2mW/cm2 |
≤2mW/cm2 |
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供电电压 |
AC380V±10% |
AC380V±10% |
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供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
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启动模式 |
标准ON/OFF |
标准ON/OFF |
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冷却方式 |
水冷 |
水冷 |
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进/出水口 |
水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） |
水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C）
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控制方式 |
本地触控屏控制 |
本地触摸屏控制 |
应用行业：半导体，光伏产业，汽车，医疗，其它工业，科研
适用产品：独立等离子清洗机，集成如键合机共晶机等做预处理
处理材料：晶圆，ALD材料，LCD屏，无机材料，橡胶材料，玻璃材料，高分子材料，汽车零器件 
