250W射流等离子

2.45GHz  250W
大气压微波低温同轴等离子射流系统(LTPJ)


项目 参数
长*宽*高 射流头111*58*59mm (射流头形态可定制);微波源:210*112*45mm
输出功率 250W,1W可调(微波源)
输出频率 2450MHz ±25MHz
频率误差 ±50ppm
微波泄露 ≤2mW/cm2
供电电压 AC220V±10%
供电频率 50Hz±2Hz
启动模式 标准ON/OFF
最大驻波比 2:1
工作模式 连续波CW
功率稳定度 1%
整机效率 ≥62%
射流头和微波源连接方式 同轴线连接
工作温度 环境温度最高 40℃,冷却水 18-28℃,最大湿度 60%
冷却方式 风冷
控制接口 RS485控制协议

版本:

版本 工艺气体 羽流长度 羽流直径
V1.0 Ar、O2、压缩空气 5mm 0.9mm
V2.0 Ar、O2、压缩空气 5mm 1mm
宽幅 Ar、O2、压缩空气    


     无电极,无污染源,长寿命;
     等离子体不带电,不会对精密电路造成损坏;
     能在高气压下维持等离子体;
     有较高的电离和分解程度;
     自偏压要求低;
     微波发生器稳定,易控制;



 
高压源和发生器互相隔离,安全;
半导体晶圆和集成电路制造(前、后道工序)中的等离子清洗设备
LCD显示屏的制造设备
太阳能电池生产的制造设备
各种无机材料,高分子材料,玻璃,金属等的等离子清洗设备