1000W射流等离子
2.45GHz  1000W
大气压微波低温等离子宽幅射流系统(LTPJ)





项目 参数
长*宽*高 射流头308*195.7*106.4 mm (射流头形态可定制);微波源:450*404*172mm
输出功率 1000W,1W可调(微波源)
输出频率 2450MHz ±5MHz
频率误差 ±50ppm
微波泄露 ≤2mW/cm2
供电电压 AC220V±10%
供电频率 50Hz±2Hz
启动模式 标准ON/OFF
最大驻波比 2:1
工作模式 连续波CW
功率稳定度 1%
整机效率 ≥60%
射流头和微波源连接方式 波同
工作温度 环境温度最高 40℃,冷却水 18-28℃,最大湿度 60%
冷却方式 水冷
控制接口 RS485控制协议

版本:
版本 工艺气体 羽流长度 羽流直径/宽
V1.0 Ar、O2、压缩空气 5mm 0.9mm
V2.0 Ar、O2、压缩空气 5mm 1mm
宽幅 Ar、O2、压缩空气  5mm  5cm


     无电极,无污染源,长寿命;

     等离子体不带电,不会对精密电路造成损坏;

     能在高气压下维持等离子体;

     有较高的电离和分解程度;

     自偏压要求低;

    微波发生器稳定,易控制;



  材料表面改性

               LCD显示屏的制造设备

                       太阳能电池生产的制造设备